上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）9月4日，由中国电子专用开发工业协会与上海证券报·中国证券网长入主理的第十三届半导体开发与中枢部件及材料展（CSEAC 2025）半导体制造与开发及中枢部件董事长论坛（下称“董事长论坛”）在无锡市举行。

　　在主题演讲中，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司（简称“东方晶源”）董事长俞宗强先容了其围绕电子束量检测开发进行的生态熏陶，并建议基于AI策画所引颈的半导体量检测开发发展要领论。

　　谈AI：中国量检测公司的期间机遇

　　“量检测开发即是半导体制造中的‘眼睛’，要发现芯片存在的问题，还要搞定问题。”俞宗强说，在半导体产业的复杂生态中，量检测重要犹如精密仪器的校准器，对确保芯片制造的高精度与高良率起着弗成替代的作用。

　　长期以来，巨匠半导体量检测开发市集呈现 “高度聚首、寡头主导”的花式，市集基本上驾驭在科磊（KLA）、应用材料、日立等外洋大公司手中。

　　而跟着半导体技能跨越，量检测开发不仅对产业更加攻击，其研发难度也在不断普及。如斯情况下，中国半导体量检测开刊行业及公司何如终了解围？

　　在俞宗强看来，AI是中国半导体量检测开发公司终了“换说念超车”的首要机会。

　　“外洋主流供应商实践‘多多益善’的营销政策，酿成检测资本腾贵且数据讹诈率极低，据估算实践用到的数据占集聚到的数据比例不到1%。”俞宗强说，中国半导体量检测开发公司可借助AI技能，以 “策画的容貌” 重新界说量检测价值。通过AI算法对海量历史数据及及时检测数据进行深度挖掘与分析，精确识别真确影响芯片性能的重要弱势与参数偏差，从而终了“量得少却雷同搞定问题”的高效模式，则有望终了从追逐到“换说念超车”。

　　俞宗强例如，讹诈机器学习算法构建弱势推测模子，在芯片制造前期便可预判潜在问题，提前疗养工艺参数，幸免弱势产生，就不错大幅减少无谓要的检测历程。

　　谈东方晶源：全套电子束量检测开发的实力担当

　　“东方晶源是半导体制造良率搞定有筹画提供商，公司围绕量检测数据应用的最大化，构建了全套的电子束量检测开发，累计出货量高出70台。”俞宗强先容，收货于AI技能的应用，公司正在终了从点到线，再到面的败坏。

　　记者了解到，东方晶源历经近12年考试，已得胜构建起全面且起首的电子束量检测开发居品矩阵，涵盖电子束弱势检测开发（EBI）、重要尺寸量测开发（CD-SEM）、电子束弱势复检开发（DR-SEM）、高能电子束开发（HV-SEM）等。

　　“AI是东方晶源成长与发展的基因之一。”俞宗强先容，自2014年配置以来，东方晶源创造性地建议并终明晰基于CPU+GPU混划算力架构的全芯片反向光刻（ILT）策画光刻搞定有筹画，并得胜推出具备竣工策画光刻关系EDA用具链条的PanGen 策画光刻平台；同期，公司基于具有自主常识产权的HPO（Holistic Process Optimization，一体化全历程工艺优化）理念，构建了障翳策画光刻、电子束量测检测与良率管束软件的一体化良率搞定有筹画体系。

　　俞宗强例如先容，在电子束弱势检测开发（EBI）方面，其新一代居品SEpA-i635在中枢电子光学系统上采取超大电流预充电（微安级）和大电流成像（百纳安级）技能，束流终了量级跃升，简略横蛮捕捉先进存储晶圆复杂结构中的电性弱势；通过高速DPU系统和AI赋能的YieldBook良率数据管束系统，在图像数据处理与弱势识别上的全认识升级等，检测速率相较于前代居品普及3倍以上，极大提高了弱势检测的效果与精度，终了更好的参加产出比。

　　“真确用AI给客户搞定问题，而不是停留在PPT上。”俞宗强暗示赌钱赚钱官方登录，普及电子束开发的检测效果，顽固于为客户普及良率、裁汰资本，东方晶源为此在软硬件联动、定制化GPU+CPU的超算平台以及基于对光刻等中枢工艺要领的深切市欢和精确仿真等方面准备了十二年，改日还将不竭深耕，不遗余力激动产业发展和跨越。